Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2019, Corrected version 2020-06)
Dit document biedt testmethoden ter ondersteuning van de werking voor cleanrooms en schone zones om te voldoen aan de luchtreinheidsclassificatie, andere reinheidsattributen en gerelateerde gecontroleerde omstandigheden.Er worden prestatietests gespecificeerd voor twee soorten cleanrooms en schone zones: die met unidirectionele luchtstroom en die met niet-unidirectionele luchtstroom, in drie mogelijke bezettingstoestanden: as-built, in rust en operationeel.De testmethoden, aanbevolen testapparatuur en testprocedures voor het bepalen van prestatieparameters worden verstrekt. Waar de testmethode wordt beïnvloed door het type cleanroom of clean zone, worden alternatieve procedures voorgesteld.Voor sommige tests worden verschillende methoden en apparaten aanbevolen om tegemoet te komen aan verschillende overwegingen voor eindgebruik. Alternatieve methoden die niet in dit document zijn opgenomen, kunnen worden gebruikt in overleg tussen klant en leverancier. Alternatieve methoden leveren niet noodzakelijkerwijs gelijkwaardige metingen op.Dit document is niet van toepassing op het meten van producten of processen in cleanrooms, clean zones of scheidingsinrichtingen.OPMERKING Dit document is niet bedoeld om veiligheidsoverwegingen in verband met het gebruik ervan te behandelen (bijvoorbeeld bij het gebruik van gevaarlijke materialen, operaties en apparatuur). Het is de verantwoordelijkheid van de gebruiker van dit document om de juiste veiligheids- en gezondheidspraktijken vast te stellen en de toepasselijkheid van wettelijke beperkingen voorafgaand aan gebruik te bepalen.
Bekijk in