Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical classifications (ISO 14644-13:2017)
Die Norm behandelt die Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in einem Rein-raum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Sie gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Klassen der partiku-lären Oberflächenreinheit (SCP, en: surface cleanliness by particle concentration) und der chemischen Oberflächenreinheit (SCC, en: surface cleanliness by chemical concentration) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten.Die Wirksamkeit von Reinigungstechniken wird auf die Reinheitsklassen und die damit verbundenen Prüfverfahren aus ISO 14644 9:2012 und ISO 14644 10:2013 verweisen.Die folgenden Aspekte der allgemeinen Anleitung werden vorausgesetzt: die erwarteten Oberflächenreinheitsgrade die Eignung der Reinigungsverfahren die Kompatibilität von Oberflächen mit der Reinigungstechnik die Bewertung der Reinigungswirksamkeit.Das Folgende wird in dieser Norm nicht berücksichtigt: die Klassifizierung von Reinigungsverfahren das innerhalb eines Reinraum hergestellte Produkt die spezifische Oberfläche in Bezug auf die Reinigungsverfahren die detaillierte Beschreibung von Reinigungsmechanismen, -verfahren sowie Verfahrensweisen von verschiedenen Reinigungsverfahren die detaillierten Materialkenngrößen die Beschreibung von Mechanismen hinsichtlich von Schäden durch die Reinigungsprozesse und zeitabhängige Auswirkungen Verweisungen auf interaktive Bindungskräfte zwischen den Kontaminanten und Oberflächen oder Generierungsprozesse, die üblicherweise zeit- und prozessabhängig sind weitere Kenngrößen von Partikeln, beispielsweise elektrostatische Ladung, Ionenladungen usw. die chemischen Reaktionen zwischen molekularen Kontaminanten und Oberflächen die mikrobiologischen Aspekte der Oberflächenreinheit die radioaktiven Aspekte der Kontamination die Aspekte des Gesundheitsschutzes und der Arbeitssicherheit die Umweltaspekte, beispielsweise Abfallentsorgung, Emissionen usw. die Auswahl und Anwendung von statistischen Verfahren.
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