NBN EN ISO 14644-13:2017

ISO 14644-13:2017 geeft richtlijnen voor het in een bepaalde mate reinigen van cleanroomoppervlakken, oppervlakken van apparatuur in een cleanroom en oppervlakken van materialen in een cleanroom. In aanmerking komen alle oppervlakken (extern of intern) die van belang zijn. Het biedt richtlijnen voor de beoordeling van reinigingsmethoden voor het bereiken van de vereiste oppervlaktereinheid door deeltjesconcentratie (SCP) en oppervlaktereinheid door chemische concentratie (SCC) klassen en welke technieken moeten worden overwogen om deze gespecificeerde niveaus te bereiken.
De geschiktheid van reinigingstechnieken zal verwijzen naar de reinheidsklassen en bijbehorende testmethoden die te vinden zijn in ISO 14644-9 en ISO 14644-10.
De volgende zaken van algemene begeleiding zullen worden verstrekt:
- verwachte oppervlaktereinheidsniveaus
- geschiktheid van reinigingsmethoden
- compatibiliteit van oppervlakken met de reinigingstechniek
- beoordeling van geschiktheid voor reiniging.
Het volgende wordt uitgesloten van dit document:
- classificatie van reinigingsmethoden
- product geproduceerd in een cleanroom
- specifieke oppervlakte-gerelateerde reinigingsmethoden
- gedetailleerde beschrijving van reinigingsmechanismen, methoden en procedures van verschillende reinigingsmethoden
- gedetailleerde materiaalkenmerken
- beschrijving van schademechanismen door reinigingsprocessen en tijdsafhankelijke effecten
- verwijzingen naar interactieve bindingskrachten tussen verontreinigingen en oppervlakken of generatieprocessen die doorgaans tijds- en procesafhankelijk zijn
- andere eigenschappen van deeltjes zoals elektrostatische lading, ionische ladingen, enz.
- chemische reacties tussen moleculaire verontreinigingen en oppervlakken
- microbiologische aspecten van oppervlaktereinheid
- radioactieve aspecten van besmetting
- gezondheids- en veiligheidsoverwegingen
- milieuaspecten zoals afvalverwijdering, emissies, enz.
- selectie en gebruik van statistische methoden.