Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015)
ISO 14644-2:2015 spécifie les exigences minimales d' un plan de surveillance des performances d' une salle propre ou d' une zone propre en lien avec la propreté particulaire de l' air, d' après des paramètres qui mesurent ou modifient la concentration de particules en suspension dans l' air.ISO 14644-2:2015 ne traite pas de la surveillance de l' état dans lequel se trouvent d' autres aspects tels que les vibrations ni de la maintenance générale des systèmes techniques. Elle ne traite pas de la surveillance des populations de particules dont le seuil inférieur se situe en dehors de l' étendue granulométrique de référence de 0,1 µm à 5 µm. Les concentrations de particules ultrafines (plus petites que 0,1 µm) seront traitées dans une norme séparée.
Voyez en
