Cleanrooms and associated controlled environments - Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015)
ISO 14644-2:2015 specificeert minimumvereisten voor een monitoringplan voor de prestaties van cleanrooms of cleanzones met betrekking tot luchtzuiverheid door deeltjesconcentratie, gebaseerd op parameters die de deeltjesconcentratie in de lucht meten of beïnvloeden.ISO 14644-2:2015 gaat niet in op conditiebewaking van aspecten zoals trillingen of algemeen onderhoud van de technische systemen. Het voorziet niet in monitoring van deeltjespopulaties die buiten het gespecificeerde deeltjesgroottebereik van de onderste drempel, 0,1 µm tot 5 µm, vallen. Concentraties van ultrafijne deeltjes (deeltjes kleiner dan 0,1µm) zullen in een aparte norm behandeld worden.
Bekijk in
