Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-1:2015)
ISO 14644-1:2015 specificeert de classificatie van luchtreinheid in termen van concentratie van deeltjes in de lucht in cleanrooms en schone zones en scheidingsinrichtingen zoals gedefinieerd in ISO 14644‑7.Alleen deeltjespopulaties met cumulatieve verdelingen gebaseerd op drempel (ondergrens) deeltjesgroottes variërend van 0,1 µm tot 5 µm komen in aanmerking voor classificatiedoeleinden.Het gebruik van lichtverstrooiende (discrete) deeltjestellers in de lucht (LSAPC) is de basis voor het bepalen van de concentratie van deeltjes in de lucht, gelijk aan en groter dan de gespecificeerde afmetingen, op aangewezen bemonsteringslocaties.ISO 14644-1:2015 voorziet niet in classificatie van deeltjespopulaties die buiten het gespecificeerde deeltjesgroottebereik van de onderste drempel, 0,1 µm tot 5 µm, vallen. Concentraties van ultrafijne deeltjes (deeltjes kleiner dan 0,1 µm) zullen worden behandeld in een aparte norm om luchtreinheid door deeltjes op nanoschaal te specificeren. Een M-descriptor (zie bijlage C) kan worden gebruikt om populaties van macrodeeltjes (deeltjes groter dan 5 µm) te kwantificeren.ISO 14644-1:2015 kan niet worden gebruikt om de fysische, chemische, radiologische, levensvatbare of andere aard van deeltjes in de lucht te karakteriseren.
Bekijk in
