Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)
ISO 14644-14:2016 specificeert een methodologie voor het beoordelen van de geschiktheid van apparatuur (bijv. machines, meetapparatuur, procesapparatuur, componenten en gereedschappen) voor gebruik in cleanrooms en bijbehorende gecontroleerde omgevingen, met betrekking tot de reinheid van zwevende deeltjes zoals gespecificeerd in ISO 14644‑ 1. Deeltjesgroottes variëren van 0,1 µm tot gelijk aan of groter dan 5 µm (gegeven in ISO 14644-1).OPMERKING Wanneer regelgevende instanties aanvullende richtlijnen of beperkingen opleggen, kan een passende aanpassing van de beoordelingsmethodiek nodig zijn.De volgende items vallen niet onder deze ISO 14644-14:2016:- beoordeling van geschiktheid met betrekking tot biocontaminatie - testen op geschiktheid van ontsmettingsmiddelen en technieken - reinigbaarheid van apparatuur en materialen - eisen aan het ontwerp van apparatuur en materiaalkeuze - fysische eigenschappen van materialen (bv. elektrostatische, thermische eigenschappen) - optimaliseren van de prestaties van apparatuur voor specifieke procestoepassingen - selectie en gebruik van statistische methoden voor toetsing - protocollen en vereisten voor lokale veiligheidsvoorschriften.
Bekijk in
