Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2005)
Dieser Teil von ISO 14644 legt Prüfverfahren für die entsprechend bezeichnete Klassifikation der Reinheit von luftgetragenen Teilchen und zur Beschreibung der Leistung von Reinräumen und reinen Bereichen fest. Es werden Leistungsprüfungen für zwei Arten von Reinräumen und reinen Bereichen festgelegt, solche mit turbulenzarmer Strömung und solche mit turbulenter Strömung. Es werden drei Betriebszustände betrachtet: Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung. Die Prüfverfahren empfehlen Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung von Kenngrößen für die Leistung. Wo das Prüfverfahren durch die Art des Reinraums oder reinen Bereichs beeinflusst wird, werden alternative Verfahren vorgeschlagen. Für einige Prüfungen werden mehrere unterschiedliche Verfahren und Geräte empfohlen, so dass verschiedenen Nutzungsarten Rechnung getragen werden kann. Soweit zwischen Kunden und Lieferanten vereinbart, dürfen auch alternative nicht in diesem Teil von ISO 14644 beschriebene Verfahren angewendet werden. Solche Verfahren liefern nicht zwingend gleichwertige Messungen.Dieser Teil von ISO 14644 ist nicht auf die Messung von Produkten oder Prozessen in Reinräumen oder reinen Bereichen anwendbar.
Anzeigen in
