Cleanrooms and associated controlled environments - Part 1: Classification of air cleanliness (ISO 14644-1:1999)
Dieser Teil der Internationalen Norm ISO 14644 enthält die Klassifizierung der Luftreinheit in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen. Die Ausführungen und Festlegungen der Klassifizierung nach dieser Norm beziehen sich ausschließlich auf die Konzentration luftgetragener Partikel. Desweiteren werden für Klassifizierungßwecke nur Partikelgruppen in Betracht gezogen, deren Summenhäufigkeitsverteilung zwischen den kritischen Partikelgrößen ( untere Grenze) 0,1 um un 5 um basiert.
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