Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2026)
Dieses Dokument legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten (z. B. Maschinen, Messgeräte, Prozessausrüstung, Komponenten und Werkzeuge) für die Anwendung in Reinräumen und zugehörigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644 1 fest. Der Partikelgrößenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder größer als 5 µm (in ISO 14644 1 angegeben).ANMERKUNG Sofern die zuständigen Behörden ergänzende Richtlinien oder Einschränkungen vorgeben, können geeignete Anpassungen der Methodik zur Bewertung erforderlich sein.Dieses Dokument ist nicht für Folgendes anwendbar: Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination Prüfung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken Reinigungsfähigkeit der Geräte und Materialien Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Geräten und die Auswahl von Materialien physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften) Optimierung der Geräteleistung für spezifische Prozessanwendungen Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren für die Prüfung Protokolle und Anforderungen hinsichtlich regionaler Sicherheitsvorschriften.
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