Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2026)
Le présent document définit une méthodologie pour évaluer l’aptitude de l’équipement (par exemple, machines, équipements de mesure, équipements de procédé, composants, outils) à être employé dans les salles propres et les environnements maîtrisés apparentés, pour ce qui concerne la propreté particulaire de l’air telle que spécifiée dans l’ISO 14644-1. La taille des particules varie de 0,1 µm à 5 µm ou plus (indiquée dans l’ISO 14644-1).NOTE Lorsque les instances réglementaires imposent des lignes directrices ou des restrictions supplémentaires, il peut s’avérer nécessaire d’adapter la méthodologie d’évaluation en conséquence.Le présent document ne s’applique pas aux éléments suivants:l’évaluation de l’aptitude à l’emploi par rapport à la biocontamination les essais d’aptitude à l’emploi des agents et des techniques de décontamination la nettoyabilité des équipements et matériaux les exigences relatives à la conception de l’équipement et à la sélection des matériaux les propriétés physiques des matériaux (par exemple, propriétés électrostatiques, thermiques) l’optimisation des performances de l’équipement pour des applications de procédé particulières la sélection et l’utilisation de méthodes statistiques pour les essais les protocoles et exigences relatifs à la réglementation locale sur la sécurité.
Voyez en
