Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2026)
Dit document beschrijft een methodologie voor het beoordelen van de geschiktheid van apparatuur (bijv. machines, meetapparatuur, procesapparatuur, componenten en gereedschap) voor gebruik in cleanrooms en bijbehorende gecontroleerde omgevingen, met betrekking tot de reinheid van zwevende deeltjes zoals gespecificeerd in ISO 14644-1. De deeltjesgrootte varieert van 0,1 µm tot 5 µm of groter (zoals vermeld in ISO 14644-1).OPMERKING: Indien regelgevende instanties aanvullende richtlijnen of beperkingen opleggen, kan een passende aanpassing van de beoordelingsmethodologie vereist zijn.Dit document is niet van toepassing op de volgende onderwerpen:beoordeling van de geschiktheid met betrekking tot biocontaminatie testen van de geschiktheid van ontsmettingsmiddelen en -technieken reinigbaarheid van apparatuur en materialen eisen aan het ontwerp van apparatuur en de materiaalkeuze fysische eigenschappen van materialen (bijv. elektrostatische en thermische eigenschappen) optimalisatie van de prestaties van apparatuur voor specifieke procesapplicaties selectie en gebruik van statistische methoden voor testen protocollen en vereisten voor lokale veiligheidsvoorschriften.
Bekijk in
