NBN EN ISO 14644-13:2026

Dit document bevat richtlijnen voor het reinigen van cleanroomoppervlakken, oppervlakken van apparatuur in een cleanroom en materiaaloppervlakken in een cleanroom tot een bepaalde mate. Alle relevante oppervlakken (extern of intern) worden in aanmerking genomen. Het document geeft richtlijnen voor de beoordeling van reinigingsmethoden om de vereiste oppervlaktereinheid te bereiken op basis van de deeltjesconcentratie (SCP) en de chemische concentratie (SCC), en welke technieken hiervoor geschikt zijn.

De geschiktheid van reinigingstechnieken wordt beoordeeld aan de hand van de reinheidsniveaus en bijbehorende testmethoden zoals beschreven in ISO 14644-9 en ISO 14644-10.

Het document geeft algemene richtlijnen voor de volgende aspecten:

verwachte oppervlaktereinheidsniveaus

geschiktheid van reinigingsmethoden

compatibiliteit van oppervlakken met de reinigingstechniek

beoordeling van de geschiktheid van de reiniging.

De volgende aspecten zijn uitgesloten van dit document:

classificatie van reinigingsmethoden

producten die in een cleanroom worden geproduceerd

specifieke oppervlaktegerelateerde reinigingsmethoden

gedetailleerde beschrijving van reinigingsmechanismen, -methoden en -procedures

gedetailleerde materiaaleigenschappen

Beschrijving van schademechanismen door reinigingsprocessen en tijdsafhankelijke effecten

verwijzingen naar interactieve bindingskrachten tussen verontreinigingen en oppervlakken of generatieprocessen die doorgaans tijdsafhankelijk en procesafhankelijk zijn

andere kenmerken van deeltjes, zoals elektrostatische lading, ionische ladingen, enz.

chemische reacties tussen moleculaire verontreinigingen en oppervlakken

microbiologische aspecten van oppervlaktereinheid

radioactieve aspecten van verontreiniging

gezondheids- en veiligheidsaspecten

milieuaspecten zoals afvalverwerking, emissies, enz.

selectie en gebruik van statistische methoden.